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电子制造企业防静电安全管理与控制标准

本标准规定了电子制造企业静电放电（ESD）防护的管理职责、环境分级控制、人员防护、物料设备管控、生产过程管控、检测维护、应急处置等要求，适用于所有涉及静电敏感器件（以下简称ESDS）生产、加工、测试、仓储、转运的全流程环节，旨在控制ESD导致的器件损伤，降低产品不良率，提升产品可靠性。

静电对电子制造的危害已形成明确的行业共识：在环境相对湿度30%RH条件下，人体日常行走产生的静电电位可达1000V-3000V，湿度低于10%RH时可升高至6000V-10000V，化纤衣物摩擦产生的静电电位最高可达15kV以上；当前主流7nm及以下制程的逻辑芯片、存储芯片