IEC TS 62607-6-23：2025 纳米制造 关键控制特性 第6-23部分石墨烯相关产品 薄层电阻 载流子密度 载流子迁移率霍尔棒法标准立项发展报告.docxVIP

纳米制造关键控制特性第6-23部分：石墨烯相关产品薄层电阻载流子密度载流子迁移率：霍尔棒法标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:Nanomanufacturing–KeyControlCharacteristics–Part6-23:Graphene-relatedProducts–SheetResistance,CarrierDensity,CarrierMobility:HallBarMethod

摘要

随着石墨烯材料在电子信息、新能源器件、柔性传感等领域的产业化进程加速，对石墨烯相关产品电学性能的精确表征提出了迫切需求。薄层电阻、载流子密度和载流子迁移率是衡量石墨烯薄膜电学质量的核心关键控制特性（KeyControlCharacteristics,KCC），其测量方法的标准化对于产品质量控制、贸易互认及技术交流具有重要意义。2025年11月5日，国际电工委员会（IEC）正式发布了IECTS62607-6-23:2025《纳米制造关键控制特性第6-23部分：石墨烯相关产品薄层电阻载流子密度载流子迁移率：霍尔棒法》。该技术规范（TechnicalSpecification,TS）规定了采用霍尔棒法测量石墨烯相关产品薄层电阻、载流子密度和载流子迁移率的测试方