全球半导体前驱体传输系统进入结构升级期：固态前驱体驱动价值量提升，东亚需求保持主导.pdfVIP

全球半导体前驱体传输系统市场研究报告

半导体前驱体传输系统进入价值升级期

从LDS基本盘到固态前驱体跃迁，2026-2032年增长逻辑正在改变

核心概括

半导体前驱体传输系统位于高纯前驱体材料与CVD、ALD等工艺设备之间，是典型的“小市场、高要求”关键配套设备。它本

身并非沉积主设备，却直接承担源容器管理、流量与压力控制、温度管理、自动补液或换源、吹扫检漏、安全联锁及工艺设

备通信等任务。对于低蒸气压、热敏感、腐蚀性或固态前驱体而言，供给系统是否稳定，往往直接关系到工艺连续性、材料

利用效率与产线稼动率。

市场的核心变化不是“量变”这么简单。根据报告口径，全球市场规模由2021年的约3.11亿美元增至2025年的约4.22亿美

元，2026年预计达到约4.77亿美元，并在2032年进一步增至约8.34亿美元；2026-2032年复合增长率约9.75%。更值得关注

的是产品结构：固态前驱体传输系统收入占比由2025年的13.43%提高至2032年的31.41%，同期CAGR达到22.54%，显著

高于传统液态前驱体传输系统。

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