CN119002240A 一种晶体炉内压力智能控制方法及系统 (青岛华芯晶电科技有限公司).pdfVIP

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  • 2026-09-29 发布于重庆
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CN119002240A 一种晶体炉内压力智能控制方法及系统 (青岛华芯晶电科技有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119002240A

(43)申请公布日2024.11.22

(21)申请号202411471716.X

(22)申请日2024.10.22

(71)申请人青岛华芯晶电科技有限公司

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