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硅多晶和锗单位产品能源消耗限额

Normofenergyconsumptionperunitproductsofpolysiliconandgermanium

硅多晶和锗单位产品能源消耗限额

1范围

本文件规定了硅多晶和锗单位产品能源消耗(以下简称“能耗”)限额等级、技术要求、统计范围和计算方法。

本文件适用于以三氯氢硅法或硅烷流化床法生产光伏用硅多晶(以下简称“硅多晶”)的企业,以锗精矿、再生锗原料为原料生产高纯四氯化锗、高纯二氧化锗、区熔锗锭、锗单晶的企业进行能耗的计算、考核,以及对新建、改建和扩建项目的能耗控制。

本文件不适用于生产半导体用电子级硅多晶、区熔级硅多晶的企业的能耗控制。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

相关标准综合能耗计算通则

相关标准锗单晶和锗单晶片

相关标准高纯二氧化锗

相关标准区熔锗锭

相关标准单位产品能源消耗限额编制通则

相关标准半导体材料术语

相关标准用能单位能源计量器具配备和管理通则

相关标准太阳能级硅多晶

相关标准流化床法颗粒硅

相关标准高纯四氯化锗

3术语和