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MEMS加速度传感器硬件设计
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一、MEMS加速度传感器设计概述 4
二、MEMS加速度传感器工作原理 5
三、传感器核心性能指标定义 8
四、敏感元件结构选型设计 12
五、敏感元件材料选择方案 14
六、敏感元件微加工工艺规划 15
七、信号检测电路架构选型 17
八、前置放大电路设计方法 20
九、信号滤波电路设计方案 23
十、模数转换电路选型设计 27
十一、温度补偿电路设计方法 30
十二、电源管理电路设计思路 35
十三、传感器接口电路设计规范 38
十四、PCB布局布线
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