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光学薄膜技术（第4版） 课件 -4.1-4.4.ppt

光学薄膜技术（第4版） 课件 -4.1-4.4.ppt

    *第四章光学薄膜制造工艺*4.1光学薄膜器件的质量要求薄膜器件光学性能光学常数(n,k)和厚度d折射率产生偏差的原因聚集密度微观组织物理结构(晶体结构)膜层化学成分薄膜器件机械性能硬度牢固度—（附着力）薄膜器件环境稳定性盐水盐雾、高湿高温、高低温、水淋水浴、酸碱腐蚀*薄膜聚集密度P:1.沉积分子的有限迁移率2.已经沉积分子对后继沉积分子的阴影效应膜层填充密度对膜层质量的影响产生柱状结构的原因：*4.2影响膜层质量的工艺要素PVD基本工艺过程:*工艺参数对薄膜性能的影响基片材料基片清洁离子轰击膜层材料蒸发方法蒸发速率

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