光学薄膜技术（第4版） 课件 -5.1.ppt

*第五章

薄膜生长过程

薄膜材料及其性质*均匀、细小、可以运动的原子团核或者岛开始长大,岛密度增加、尺寸增大通过团聚，岛开始合并团聚的继续导致连续网络的形成沟道逐渐被填充5.1薄膜的形成与生长薄膜形成的显微过程*1、吸附过程薄膜沉积过程中，蒸气原子与基底相遇，产生相互的吸引，这一过程称为吸附过程，吸附是薄膜形成的最初阶段。值得注意的是：吸附是一个动态过程，由于发生吸附的原子仍然具有热动能等能量，当吸附原子动能超过解除吸附所需要的能量，则会从衬底上脱离出来。当蒸气原子接近于基底表面的若干原子直径范围时，就进入基底的表面力场—从而产生吸附。*