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电子特气储存与使用安全指南（2026版）

第一章总则与适用范围

本指南旨在规范电子特种气体（以下简称“电子特气”）在半导体、显示面板、光伏及LED等高端制造领域的储存、搬运、使用及应急处理全生命周期的安全管理。随着2026年新版安全生产标准的实施，针对电子特气的高危险性、高纯度及强腐蚀性特征，本指南整合了国际通用半导体设备与材料协会（SEMI）标准、国内最新特种气体安全规范及行业最佳实践，强调预防为主、源头管控与系统联锁的安全理念。适用于所有涉及电子特气生产、经营、使用及废弃处理的企业和实验室，特别是拥有大宗气站、特种气柜及现场阀组箱的运营单位。

电子特气主要指用于半导体掺杂、蚀刻、沉积等工