集成电路用有机溶剂剥离液 标准立项发展报告.docx

集成电路用有机溶剂剥离液标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:OrganicSolventStripperforIntegratedCircuits

摘要

随着集成电路制造工艺向纳米级节点持续演进，光刻胶剥离与清洗工序对化学药剂的纯度、选择性和安全性提出了极为苛刻的要求。有机溶剂剥离液作为光刻工艺后处理的关键功能湿电子化学品，其质量一致性直接关系到晶圆表面缺陷率、器件良率及可靠性。目前我国该领域高端产品长期依赖进口，自主标准体系尚不健全，制约了产业链供应链的安全稳定。在此背景下，工业和信息化部依据《国家标准化发展纲要》及电子行业标