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- 2026-10-14 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119356037A
(43)申请公布日2025.01.24
(21)申请号202411490325.2
(22)申请日2024.10.24
(71)申请人北京赛莱克斯国际科技有限公司
地址100176北京市大兴区北京经济技术
开发区科谷一街10号院5号楼7层701
(72)发明人王晨星陆原杨云春张拴
李想
(74)专利代理机构北京众达德权知识产权代理
有限公司11570
专利代理师刘瑞越
(51)Int.Cl.
G03F7/20(2006.01)
H01L21/66(2006.01)
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