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电子洁净厂房通风净化设计手册.docx

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    电子洁净厂房通风净化设计手册

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 4

    二、电子洁净厂房通风净化基本规定 7

    三、洁净度等级与气流组织要求 11

    四、通风净化系统负荷计算方法 14

    五、风管系统设计与材质选用 16

    六、空气过滤装置选型与配置 21

    七、净化空调系统设计与运行参数 25

    八、局部排风与粉尘收集系统设计 30

    九、通风系统风量平衡与调试方法 33

    十、通风设备防微振与隔振措施 36

    十一、风管系统消声与减振处理 37

    十二、风管与设备防腐防护设计 41

    十三、通风系统防火防爆安全设计 43

    十四、

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