蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法 标准立项发展报告.docx

蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:TestMethodforGeometricParametersofPatternedSapphireSubstrateSurfacePatterns

摘要

蓝宝石图形化衬底（PSS）作为氮化镓（GaN）基光电器件的核心关键材料，其表面微米级图形结构的几何参数（图形高度、图案宽度、底面宽度、占空比等）直接影响器件的外延质量与光电转换效率。随着Mini/Micro-LED显示技术及大功率照明产业的迅猛发展，产业界对PSS产品质量一致性与检测结果