GBT 18867-2025 电子气体 六氟化硫 标准立项发展报告.docx

电子气体六氟化硫标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:ElectronicGas—SulphurHexafluoride

摘要

六氟化硫（SF?）作为一种性能优异的电子特种气体，在半导体制造、电力设备绝缘及微电子工业中具有不可替代的地位。随着我国集成电路产业和新型电力系统的快速发展，对高纯度电子级六氟化硫产品的质量控制和检测方法提出了更高要求。本标准GB/T18867-2025《电子气体六氟化硫》是对现行标准的修订与升级，旨在适应产业发展新形势，规范电子级六氟化硫的技术指标、试验方法和检验规则。本报告系统阐述了该标准的立项背景、修