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分子泵检验规范

1范围

本规范规定了分子泵的进货检验、过程检验、成品检验、型式检验的技术要求、检验方法、判定规则及标志、包装、运输和贮存要求。本规范适用于涡轮分子泵、复合分子泵等各类常用分子泵的生产制造、采购验收及定期维护检验，磁悬浮分子泵、低温分子泵等特殊类型分子泵可参照本规范补充相应特殊要求后执行。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T3163真空技术术语GB/T7774真空技术涡轮分子泵性能参数测量GB/T19955真空技术涡轮分子泵安全要求JB/T10911真空技术复合分子泵JJF1071国家计量校准规范编写规则

3术语和定义

GB/T3163界定的以及下列术语和定义适用于本文件。3.1极限压力分子泵在规定的工作条件下，正常连续运转足够时间后，抽气口处所能达到的最低稳定压力。3.2抽速分子泵在规定的工作条件下，单位时间内通过抽气口平面的气体体积，折算为抽气口处压力下的体积流量。3.3压缩比分子泵在规定的工作条件下，对指定气体，排气口压力与抽气口压力的稳定比值。3.4启动时间分子泵从通电开始，到额定转速达到规定偏差范围内所需的时间。3.5停转时间分子泵在额定转速下切断电源，