CN118932321A 一种半导体cvd工艺热控制方法及其陶瓷加热器 （杭州正丰半导体科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN118932321A

(43)申请公布日2024.11.12

(21)申请号202411433268.4

(22)申请日2024.10.15

(71)申请人杭州正丰半导体科技有限公司

地址311500浙江省杭州市桐庐县凤川街

道洋洲南路199号科技孵化园B座5楼

522室

(72)发明人宋飞田赵豪葛兴非

(74)专利代理机构杭州科启星知识产权代理事

务所(特殊普通合伙)33456

专利代理师张文骏

(51)Int.Cl.

C23C16/52(2006.01)

C23C16/50(2006.01)

C23C16/46(2006.01)