GBT 40344.4-2025 真空技术 真空泵性能测量标准方法 第4部分：涡轮分子泵 标准立项发展报告.docx

真空技术真空泵性能测量标准方法第4部分：涡轮分子泵标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:VacuumTechnology—StandardMethodsforMeasuringVacuum-PumpPerformance—Part4:TurbomolecularVacuumPumps

摘要

涡轮分子泵作为获得高真空与超高真空环境的核心装备，广泛应用于半导体制造、航空航天、表面科学、加速器工程及新能源等战略性领域。随着我国高端制造业的快速发展，对涡轮分子泵性能测量的科学性、一致性和可比性提出了更高要求。GB/T403