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电子科技大学《微纳加工技术》2026——2027学年第一学期期末试卷（B卷）.docx

电子科技大学《微纳加工技术》2026——2027学年第一学期期末试卷（B卷）.docx

    电子科技大学《微纳加工技术》2026——2027学年第一学期期末试卷（B卷）

    院(系)_______班级_______学号_______姓名_______

    题号

    一

    二

    三

    四

    五

    六

    七

    总分

    得分

    一、单项选择题（本大题共20小题，每小题1分，共计20分。在每小题列出的四个备选项中只有一个是符合题目要求的，请将其选出。错选、多选、不选均不得分。）

    1.微纳加工技术中，以下哪种设备主要用于光刻？（）

    A.电子束光刻机

    B.离子束光刻机

    C.紫外光光刻机

    D.激光光刻机

    2.在微纳加工中，以下哪种方法可以用来去除材料？（）

    A.化学腐蚀

    B.电化

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