1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 汽车/机械/制造
  5. 加工工艺

等离子体化学气化加工技术研究进展.pdf

等离子体化学气化加工技术研究进展.pdf

    26

    等离子体化学气化加工（

    sma‑CVM）

    森

    雄三，，佐野

    泰久

    大阪大学大学院工学研究科精密科学专攻，〒565–0871

    大阪府吹田市2‑1

    26.1

    引言

    图26.1展示了不同加工方法中去除率与表面粗糙度的关系。通过应用我们

    开发的弹性加工（EEM）工艺，可以实现所有加工方法中最佳的平面

    度以及原子级表面粗糙度。然而，此前一直缺乏有效的加工方法为EEM制

    备预加工表面。

    磨削和抛光在去除率方面是高效的加工方法，但所

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >