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洁净室气密性控制方案

目录TOC\o1-4\z\u

一、方案目标与适用范围 3

二、洁净室气密性控制目标 4

三、洁净室压力梯度设计 6

四、气密性控制总体原则 8

五、围护结构气密性设计 10

六、墙体与隔墙密封要求 14

七、吊顶系统密封要求 19

八、地面与踢脚密封要求 21

九、门窗与传递设施密封 23

十、穿墙管线与孔洞封堵 26

十一、风管及通风系统密封 28

十二、过滤器安装与边框密封 30

十三、气闸室与缓冲间控制 32

十四、密封材料选型与验收 35

十五、施工工序与过程控制 39

十六、施工接口协调与管理 43

十七、气密性检测方法与工具 45

十八、检测区域与测试条件 49

十九、检测结果判定与记录 52

二十、缺陷整改与复测管理 54

二十一、运行监测与日常维护 57

二十二、人员职责与质量管理 60

方案目标与适用范围

方案核心目标

1、技术精度目标

整体方案需实现洁净室整体气密性达到设定技术标准，涵盖暴露表面气密性优良、环境气密性稳定，确保气流输入与输出满足严苛气密控制要求，从微观截面到整体系统实现气密性能精准匹配。

2、性能指标目标

构建具有通用性的气密性控制指标体系，涵盖孔径级、环境均匀度、运行稳定性、泄漏率、衰减速率等多维度指标，明确