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MEMS温湿度传感器品质控制规范
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一、总则 4
二、适用范围 6
三、术语和定义 8
四、品质目标与原则 10
五、品质管理体系 12
六、产品分类与型号标识 15
七、技术要求 18
八、设计开发控制 21
九、原材料与外购件控制 23
十、供应商管理 25
十一、生产环境控制 29
十二、生产设备与工装管理 31
十三、制造过程控制 33
十四、关键工序管理 36
十五、静电防护与洁净控制 38
十六、检验与试验方法 41
十七、来料检验 44
十八、过程检验
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