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MEMS开关器件品质控制规范
目录TOC\o1-4\z\u
一、范围 3
二、术语与定义 4
三、产品分类与结构 8
四、质量目标与控制原则 12
五、质量管理职责 15
六、设计质量控制 18
七、材料与元器件控制 21
八、晶圆制造过程控制 24
九、封装与组装控制 26
十、关键工艺参数管理 28
十一、检验与试验设备管理 31
十二、来料检验要求 34
十三、过程检验要求 37
十四、成品检验要求 40
十五、电性能测试要求 43
十六、环境与可靠性试验 47
十七、失效分析与纠正措施 48
十
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