MEMS开关器件品质控制规范.docx

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MEMS开关器件品质控制规范

目录TOC\o1-4\z\u

一、范围 3

二、术语与定义 4

三、产品分类与结构 8

四、质量目标与控制原则 12

五、质量管理职责 15

六、设计质量控制 18

七、材料与元器件控制 21

八、晶圆制造过程控制 24

九、封装与组装控制 26

十、关键工艺参数管理 28

十一、检验与试验设备管理 31

十二、来料检验要求 34

十三、过程检验要求 37

十四、成品检验要求 40

十五、电性能测试要求 43

十六、环境与可靠性试验 47

十七、失效分析与纠正措施 48

十

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