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MEMS压力传感器品质控制规范
目录TOC\o1-4\z\u
一、总则 3
二、术语和定义 6
三、产品分类与型号 9
四、质量目标与控制原则 12
五、组织职责与人员要求 14
六、供应商质量管理 17
七、原材料与外购件控制 20
八、设计开发质量控制 23
九、工艺流程与过程控制 25
十、晶圆制造质量控制 27
十一、芯片封装质量控制 30
十二、装配与调试控制 33
十三、检验设备与计量管理 35
十四、来料检验要求 37
十五、过程检验要求 41
十六、成品检验与放行 44
十七、性能参数测试
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