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MEMS悬臂梁结构品质控制规范.docx

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    MEMS悬臂梁结构品质控制规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、范围与适用对象 4

    二、规范性术语与定义 5

    三、产品分类与结构标识 7

    四、质量目标与控制原则 10

    五、设计输入与评审控制 13

    六、材料选型与供应商管理 16

    七、悬臂梁结构尺寸要求 18

    八、薄膜与功能层质量要求 20

    九、微加工工艺控制 21

    十、关键工序与过程参数控制 24

    十一、设备校准与环境控制 26

    十二、过程检验与抽样要求 29

    十三、几何尺寸检测方法 33

    十四、材料性能与界面检测 35

    十五、力学性能测试要求 37

    十

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