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MEMS悬架位移传感器品质控制规范
目录TOC\o1-4\z\u
一、范围 4
二、规范性引用文件 5
三、术语和定义 7
四、产品分类与型号 10
五、技术要求 13
六、材料与元器件要求 16
七、设计质量控制 19
八、生产过程控制 23
九、关键工序控制 26
十、检验与试验方法 28
十一、性能指标检验 31
十二、环境适应性检验 34
十三、可靠性检验 37
十四、校准与计量管理 41
十五、检验规则与抽样 43
十六、不合格品控制 46
十七、包装与储存要求 49
十八、质量记录与追
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