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低缺陷3 in中波InAs⁄InAsSb材料分子束外延工艺研究.pdfVIP

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  • 2026-10-22 发布于江苏
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低缺陷3 in中波InAs⁄InAsSb材料分子束外延工艺研究.pdf

    第卷,第期红外11

    464

    文章编号:()

    1672-8785202504-0011-09

    低缺陷中波/材料

    3inInAsInAsSb

    分子束外延工艺研究

    闫勇周朋游聪娅刘铭胡雨农金姝沛

    (,)

    华北光电技术研究所北京100015

    摘要:通过改变材料源的束流大小和材料生长温度对

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