精密研抛数控机床几何误差与热误差复合建模及其补偿研究.pdfVIP

第3期组合机床与自动化加工技术NO．3

2016年3月ModularMachineToolAutomaticManufacturingTechniqueMar．2016

文章编号：1001—2265(2016)03—0078—04DOI：10．13462／j．cnki．mmtamt．2016．03．022

精密研抛数控机床几何误差与热误差复合建模

及其补偿研究术

张恩忠，李刚，林洁琼，冉同欢

(长春工业大学机电工程学院，长春130012)

摘要：为了提高精密研抛数控机床的加工精度，对研抛数控机床的几何误差与热误差进行了研究与

分析，发现随着机床相关部件温度的不断升高直至热稳态，机床的定位误差也不断增加到稳态值，验

证了几何误差和热误差是精密及超精密加工误差的主要来源。综合考虑了机床复合误差的不同特

点并进行误差分离，提出了基于牛顿插值算法和