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CSTM团体标准《区熔用电子级硅多晶棒》

编制说明

（送审稿）

江苏鑫华半导体科技股份有限公司

2026年7月

一、工作简况

1.1任务来源

本标准为CSTM团体标准制定项目，计划名称为《区熔用电子级硅多晶棒》团体标准

制定，项目计划发布文件号及项目计划代号待补充。本标准由全国半导体材料标准化技术委

员会归口管理，由江苏鑫华半导体科技股份有限公司牵头，联合硅材料生产企业、半导体材

料检测机构、科研院所等单位共同起草。

1.2立项目的和意义

本标准的立项制定，是针对当前区熔用电子级硅多晶棒领域标准供给不足、技术指标滞

后于产业发展需求的关键举措，其意义贯穿于产业规范、技术升级、质量管控、产业链协同

等多个维度。

首先，填补细分领域标准空白。目前区熔用电子级硅多晶棒主要依据行业标准《区熔用

硅多晶材料》（YS/T1829-2025）开展质量管控，缺乏针对超高纯电子级细分场景的专用标

准，产品分级与质量管控缺乏统一、先进的技术依据，不利于行业规范化发展与高