集成电路开发与测试（初级）课件 项目4 集成电路封装.pptx

;技能目标;技能目标;4.1项目概述;4.1项目概述;4.2晶圆划片;晶圆贴膜

晶圆贴膜设备

晶圆贴膜一般在贴膜机上进行。

贴膜机是通过橡胶滚轮，使蓝膜与晶圆、晶圆贴片环形成良好粘贴的设备。它由设置区、贴膜区和蓝膜区组成。

晶圆贴膜机外观如右图所示。;晶圆贴膜

晶圆贴膜原材料

晶圆贴膜时需要的原材料有蓝膜、晶圆贴片环以及晶圆框架盒，贴膜完成的晶圆放入晶圆框架盒，方便搬运。;晶圆贴膜

晶圆贴膜原材料

晶圆贴片环（如由上图）

自带定位缺口，贴膜时将晶圆贴片环通过蓝膜固定在晶圆外围。

支撑晶圆，使切割后的晶圆保持原来的形状；

固定晶圆，把晶圆固定在框架盒里边，使得晶圆在运输时不易被碰伤或刮