芯片工艺与设备 课件 项目五 掺杂工艺与设备(.pptx

芯片工艺与设备 课件 项目五 掺杂工艺与设备(.pptx

项目五:掺杂工艺与设备;情境导入:芯片的“点金石”;;;扩散原理——菲克扩散定律;扩散的形式与来源;实现思路:两步法形成PN结;任务实施:扩散炉设备解析;任务实施:扩散炉管操作流程;任务实施:扩散的过程;核心要点回顾;反思评价:任务评价表;反思评价:学习收获与反思;巩固提升;巩固提升

任务思考;感谢观看;项目五:掺杂工

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