TICMTIA-超高纯可熔性聚四氟乙烯（PFA）编制说明.pdfVIP

团体标准《超高纯四氟乙烯—全氟烷氧基乙烯基醚共聚物

（PFA）树脂》编制说明

（立项阶段□征求意见阶段□审查阶段□报批阶段□）

1、目的和意义

国内外概况、市场需求、技术优势、与先进技术或成果的转化关系、存在问

题、其他包括：现行试验方法：试验设备及使用情况：拟解决的主要问题：编制

组的前期工作基础等。

可熔性聚四氟乙烯（Polyfluoroalkoxy，简称PFA）是四氟乙烯与全氟醚单

体共聚而成，兼具优异的化学稳定性、热稳定性和机械性能，综合性能与PTFE、

FEP类似，高温强度较普通PTFE提升约2倍，可熔融焊接、抗蠕变、耐腐蚀，

适配绝大多数高纯电子化学品输送。PFA中PPVE的引入，使其加工性能更优，

有望在部分应用领域替代PTFE和FEP。根据纯度和应用领域的不同，PFA分为

工业级和电子级。可熔性聚四氟乙烯（PFA）是电子化学品及半导体高纯材料领

域的核心特种氟树脂，兼具超高化学惰性、极低金属离子析出、宽温耐候、优异

介电性能及可熔融加工成型等特性，广泛应用于半导体超纯试剂输送、晶圆湿法

清洗、蚀刻光刻配