2026第三代半导体材料研发进展与产业化前景预测
目录
TOC\o1-3\h\z\u摘要 3
一、第三代半导体材料产业宏观环境与政策分析 5
1.1全球主要国家第三代半导体战略规划与政策支持 5
1.22023-2026年产业政策演变对研发与扩产节奏的驱动分析 9
二、第三代半导体材料基本特性与技术路线对比 13
2.1碳化硅(SiC)材料物理特性及晶体生长技术路线 13
2.2氮化镓(GaN)材料物理特性及外延生长技术路线 16
2.3氧化镓(β-Ga2O3)与金刚石等超宽禁带材料前沿探索 19
三、2026年关键制备工艺与装
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