IEC 62047-29：2017 半导体器件 - 微机电器件 - 第29部分室温下独立导电薄膜的机电弛豫试验方法标准立项发展报告.docx

半导体器件—微机电器件—第29部分：室温下独立导电薄膜的机电弛豫试验方法标准立项发展报告

EnglishTitle:StandardizationDevelopmentReport:Semiconductordevices—Micro-electromechanicaldevices—Part29:Electromechanicalrelaxationtestmethodforfreestandingconductivethin-filmsunderroomtemperature

摘要

随着微机电系统（MEMS）技术在消费电子、汽车电子、航空航天