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光学石英玻璃清洗干燥工艺

我在光学加工行业摸爬滚打快十年了，经手的光学石英玻璃工件没有一万也有八千，小到指甲盖大的光学窗口片，大到米级天文望远镜的石英反射镜基底，我最常跟新来的徒弟说的一句话就是：抛光磨边做得再好，清洗干燥一步错，全部都白做。光学石英玻璃本身凭借高透光率、极低热膨胀率和高化学稳定性，成为半导体光刻、高端光学仪器、航天光电设备里不可替代的核心材料，这类产品对表面洁净度的要求苛刻到什么程度？哪怕一个看不见的指纹残留、一粒亚微米级的抛光粉颗粒，都会导致整个光学系统成像模糊，或者半导体光刻出现缺陷，直接造成几万甚至几十万的损失。这么多年下来，我们这套工艺都是实际生产里一点点试错摸出来的，不是书本上干巴巴的理论，接下来我就把整个流程从准备到成品检验完整说清楚。

1清洗干燥前的准备工作

很多新手刚接触这个工序，上来就拿着玻璃往清洗液里放，结果越洗越脏，还容易出安全问题，其实准备工作才是打好基础的关键，任何一步没做到位，后面再怎么补救都没用。

1.1污染物识别与分类

不同的工件在加工过程中沾附的污染物完全不一样，清洗工艺也要跟着调整，不能一概而论。我们拿到工件第一步就是先分类识别污染物，大致可以分成三类：第一类是有机污染物，比如加工过程中留下的粘接用石蜡松香、人手接触留下的汗渍油脂、抛光液里的有机分散剂、存放过程中空气中的油污沉降，这类污染物需要用碱洗或者氧化分解去掉；第二类