SEMI F75-24 中文版 半导体工艺用压缩空气纯度测试标准.docxVIP

COMPRESSEDAIR/PURITYTESTINGFORPROCESS

半导体高纯水与洁净系统·工程实务文章

SEMIF75-24中文版

半导体工艺用压缩空气纯度测试标准

压缩空气的“干净”由颗粒、油、水与气体杂质共同定义，少测一项就可能漏掉一类风险

讨论重点

取样代表性·油水颗粒·测试流程

适用场景

厂务气体·品质检测·工艺设备

阅读方式

按流程顺序，结合现场记录

摘要

工艺压缩空气直接接触晶圆、设备气动部件与洁净环境，其纯度直接影响颗粒污染、设备寿命与产品良率。本文从压缩空气的污染物类型讲起，讨论颗粒、油、水与气态杂质的检测方法与限值逻辑，拆解取样点选择、取样管路、减压与流量控制等现场要点，并给出验收测试、日常监测与异常排查的执行框架。文中强调：压缩空气测试的难点不在仪器，而在取样是否代表真实用气状态。

关键词压缩空气/纯度测试/含油量/露点/颗粒

阅读边界

本文讨论工艺压缩空气纯度测试的方法与现场要点，不替代标准原文、项目技术协议或第三方检测报告。具体限值、取样方法与判定规则应依据工艺要求与合同约定确定。

内容导航

01压缩空气里到底有什么

05水分与露点：压力换算不能忘

02取样：测试结果是否可信的第一道关

06气态杂质与特殊用途

03颗粒测试：流量