SEMI F06-2022 中文版 超纯水中总有机碳 TOC 测试规范.docxVIP

ULTRA-PUREWATER/PARTICLE·METALS·TOC·MICROBIOLOGY·DELIVERY

超纯水与高纯水系统技术实务·独立行业技术文章

SEMIF06-2022中文版

超纯水中总有机碳TOC测试规范

TOC是条件量，不是有机物总量的真值

主题范围

水质·管路·输送·监测·验收

文档性质

独立行业技术文章

适用读者

厂务·工艺·品质·工程

▍摘要/ABSTRACT

总有机碳测的是被氧化成二氧化碳的那部分碳，读数高低取决于氧化是否完全、无机碳是否除净、检测器响应是否一致。超纯水系统的TOC来源分散在原水、膜、树脂、管壁与微生物代谢物之间，同一个数字背后的风险并不相同。文章从三条主流技术路线讲起，说明氧化效率、取样容器、顶空、酸化、空白与校准曲线怎样一步步改变结果，再落到在线与离线的差异、二氧化碳溶入造成的假象，以及清洗验证与趋势判读的写法。文中给出可直接用于评审的方法适用性对照、数据有效性核对与联合判读矩阵，并用一个顶空过大的取样案例说明：取样容器本身就是测量系统的一部分，采样环节的偏差不会出现在任何报警里，却会安静地改变每一份月报的结论。

关键词总有机碳/氧化效率/取样空白/电导检测/趋势判读

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