SEMI F57-2022 中文版 高纯工艺管道内壁粗糙度测试方法.docxVIP

ULTRA-PUREWATER/PARTICLE·METALS·TOC·MICROBIOLOGY·DELIVERY

超纯水与高纯水系统技术实务·独立行业技术文章

SEMIF57-2022中文版

高纯工艺管道内壁粗糙度测试方法

只测直管，验收结论就会失真

主题范围

水质·管路·输送·监测·验收

文档性质

独立行业技术文章

适用读者

厂务·工艺·品质·工程

▍摘要/ABSTRACT

内壁粗糙度常被当成一个可以随手填进验收表的数字，实际它是取样条件、滤波设置与测点选择的共同产物。同一根高纯管，换一个截止波长、换一个截面，Ra可以相差一倍以上，而报告上只写一个合格，谁也看不出差别在哪。本文从Ra、Rz、Rq的定义讲起，说明取样长度与评定长度如何改变结论，比较触针式、光学轮廓与复膜法在直管、弯头、焊口上的可行性，拆解测点布置、清洁去脂与仪器校准中的失真来源，并给出可直接用于验收评审的测点表与有效性核对表。文中数值均为工程示例，判据应通过基线测试与风险评估确定。粗糙度的可比性来自条件一致，而不是仪器档次。把测点图、原始轮廓与处置记录做成模板，验收才有可复用的基础，这两点决定了报告的可信度。

关键词内壁粗糙度/取样长度/触针轮廓仪/复膜法/焊口验收

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