SEMI F01-2022 中文版 超纯水中颗粒物含量测试方法.docxVIP

ULTRA-PUREWATER/PARTICLE·METALS·TOC·MICROBIOLOGY·DELIVERY

超纯水与高纯水系统技术实务·独立行业技术文章

SEMIF01-2022中文版

超纯水中颗粒物含量测试方法

计数器不会说谎，取样系统会

主题范围

水质·管路·输送·监测·验收

文档性质

独立行业技术文章

适用读者

厂务·工艺·品质·工程

▍摘要/ABSTRACT

超纯水颗粒物测试的难点不在于把计数器开起来，而在于让每一个计数都能追溯到真实的颗粒事件。激光液体颗粒计数器按粒径通道给出单位体积颗粒数，而取样管路、阀门开度、脱气状态、背景计数与重合损失都会改写这个数字。文章从测量原理、取样点布局、管路设计、在线与瓶取样差异、数据有效性判定五个层面展开，给出可直接用于现场核对与评审的取样点矩阵、气泡判别表与数据有效性核对表，并说明校准与期间核查如何支撑结论。对厂务工程师而言，一次可信的颗粒数据应当能回答三个问题：这个数在什么水力条件下取得，它与历史基线是否可比，出现异常时先查仪表还是先查水。文中粒径通道、流量与判定规则均为工程示例，具体取值应通过基线测试与风险评估确定。

关键词颗粒计数/取样链路/气泡干扰/重合损失/数据有效性

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