SEMI F65-2022 中文版 超纯水输送泵性能测试方法.docxVIP

ULTRA-PUREWATER/PARTICLE·METALS·TOC·MICROBIOLOGY·DELIVERY

超纯水与高纯水系统技术实务·独立行业技术文章

SEMIF65-2022中文版

超纯水输送泵性能测试方法

曲线合格不等于水质长期合格

主题范围

水质·管路·输送·监测·验收

文档性质

独立行业技术文章

适用读者

厂务·工艺·品质·工程

▍摘要/ABSTRACT

超纯水输送泵的性能，不只看流量与扬程，还要看它在长期运行中会不会制造颗粒、脉冲与泄漏。文章从泵型与材料讲起，说明离心、屏蔽、磁力与隔膜泵在超纯水场合的取舍，再展开流量-扬程曲线、工况点、NPSH与气蚀余量、低脉冲与低剪切、变频与最小流量、振动噪声与轴承温度、在线测量与验收记录，最后落到泵与管路、过滤器的匹配和趋势管理。文中给出泵型适配表、性能测试记录表与失效模式检查表，并用一个出口阀节流过大导致气蚀与颗粒升高的案例说明：关小阀门并不会让泵更省力，只会把能量变成热、噪声与磨损。把泵放回系统里看，才能判断它是帮手还是污染源。泵的测试与选型最终都服务于同一个目标：让水质在长期运行中保持稳定。

关键词输送泵/气蚀余量/脉冲与剪切/性能验收/颗粒脱落

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