SEMI F20-2022 中文版 超纯水在线颗粒计数器校准方法.docxVIP

ULTRA-PUREWATER/PARTICLE·METALS·TOC·MICROBIOLOGY·DELIVERY

超纯水与高纯水系统技术实务·独立行业技术文章

SEMIF20-2022中文版

超纯水在线颗粒计数器校准方法

计数偏高时，先怀疑标准粒子

主题范围

水质·管路·输送·监测·验收

文档性质

独立行业技术文章

适用读者

厂务·工艺·品质·工程

▍摘要/ABSTRACT

在线颗粒计数器的读数看起来最客观：一个数字，一条趋势线，似乎不需要解释。实际上这个数字是激光功率、流通池几何、采样流量、阈值判决与标准粒子状态共同作用的结果，任何一环偏移都会改变结论。校准要解决的不是让仪器显示一个漂亮的效率值，而是证明它在本现场的流量与水质条件下，对各粒径通道仍然给出可比对的计数。本文按测量链、标准粒子与稀释、计数效率与重合损失、零点与背景、取样与脱气、校准曲线与阈值、在线比对、污染与漂移、报告与不确定度的顺序展开，附校准项目表、现场核查表与异常处置表。文中数值为工程示例，判据应通过基线测试确定。把标准粒子状态、取样条件与统计涨落三件事固定下来，颗粒数据才具备跨月比较的基础。

关键词在线颗粒计数/标准粒子/计数效率/重合损失/背景计数

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