SEMI F05-2021 中文版 超纯水中溶解氧含量测试方法.docxVIP

ULTRA-PUREWATER/PARTICLE·METALS·TOC·MICROBIOLOGY·DELIVERY

超纯水与高纯水系统技术实务·独立行业技术文章

SEMIF05-2021中文版

超纯水中溶解氧含量测试方法

读数偏低且稳定，才是最难查的故障

主题范围

水质·管路·输送·监测·验收

文档性质

独立行业技术文章

适用读者

厂务·工艺·品质·工程

▍摘要/ABSTRACT

溶解氧测量在超纯水里属于微克每升量级的活儿，难点不在传感器精度，而在取样系统本身就在漏氧。一段透氧的软管、一个未拧紧的接头、一台蠕动泵，都足以让读数长期偏高且看起来非常稳定。文章讨论原电池式、极谱式与光学传感器的原理与边界，取样管路的无氧接入、旁通与背压，膜污染与电解液耗尽的表现，零点与空气饱和校准的适用条件，温度、压力与流量补偿，管道渗透与接头漏气的检漏方法，在线与瓶取样的差异，以及数据有效性与报警设置。文中浓度、响应时间与报警阈值均为工程示例，项目应通过基线测试与风险评估确定自身控制区间；而检漏顺序与记录要求可以直接落地。这一点值得在评审时反复确认。

关键词溶解氧/无氧取样/透氧/零点校准/响应时间

SCOPENOTE/阅读边界

先把标准身份和适用边界说清楚