SEMI F30-2023 中文版 超纯水终端过滤器性能测试规范.docxVIP

ULTRA-PUREWATER/PARTICLE·METALS·TOC·MICROBIOLOGY·DELIVERY

超纯水与高纯水系统技术实务·独立行业技术文章

SEMIF30-2023中文版

超纯水终端过滤器性能测试规范

起泡点通过，并不等于装对了

主题范围

水质·管路·输送·监测·验收

文档性质

独立行业技术文章

适用读者

厂务·工艺·品质·工程

▍摘要/ABSTRACT

终端过滤器是超纯水到达工艺前的最后一道屏障，也是最容易被当成标准件随手装上的部件。它的性能由三件事共同决定：滤膜本身的截留与溶出特性，壳体与密封的安装状态，以及运行工况下的压降与流量匹配。完整性测试只能回答膜有没有大孔，回答不了气囊、旁通与密封扭曲。本文按过滤精度与膜材、三种完整性测试、颗粒截留与脱落、压降流量曲线、溶出物与总有机碳、耐压耐温与灭菌、安装排气与壳体清洁、寿命判据与POU匹配的顺序展开，附完整性测试表、选型验收表与失效处置表。文中数值为工程示例，判据应通过基线测试与供应商数据确定。把更换作业做成带数值与照片的核对表，末端水质才有稳定可言，这比反复比较品牌更实际。

关键词终端过滤器/完整性测试/起泡点/颗粒截留/压降流量

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