SEMI F19-2023 中文版 高纯化学品输送系统管道清洗规范.docxVIP

ULTRA-PUREWATER/PARTICLE·METALS·TOC·MICROBIOLOGY·DELIVERY

超纯水与高纯水系统技术实务·独立行业技术文章

SEMIF19-2023中文版

高纯化学品输送系统管道清洗规范

冲洗水合格，死角却未必干净

主题范围

水质·管路·输送·监测·验收

文档性质

独立行业技术文章

适用读者

厂务·工艺·品质·工程

▍摘要/ABSTRACT

高纯化学品管路的清洗，难点不在把管子冲一遍，而在定义清楚要对付哪些残留、用什么介质、在什么温度与流速下接触多久、又用什么证据证明它干净了。新管有加工油与焊口氧化皮，改造后有金属屑与密封碎屑，长期停用后有生物膜与腐蚀产物，同一套清洗序列无法通吃。本文按污染谱、材质兼容性、清洗剂与接触时间、循环与冲洗的流体条件、死角与阀门、残留检测、干燥氮封、废液与防护、验收证据链的顺序展开，给出可直接用于方案评审的兼容性核对表、残留检测表与步骤验收矩阵。文中浓度、温度与流速均为工程示例，实际参数应通过浸泡试验、基线测试与风险评估确定。清洗的终点应由数据判定，而不是由工期判定，这一条比任何参数都更难坚持。

关键词化学品管路/清洗剂兼容性/死角/残留检测/氮封

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