SEMI F031-2023 中文版 超纯水系统 CIP 在线清洗操作规范.docxVIP

ULTRA-PUREWATER/PARTICLE·METALS·TOC·MICROBIOLOGY·DELIVERY

超纯水与高纯水系统技术实务·独立行业技术文章

SEMIF031-2023中文版

超纯水系统CIP在线清洗操作规范

清洗的成败取决于回路，而不是药剂浓度

主题范围

水质·管路·输送·监测·验收

文档性质

独立行业技术文章

适用读者

厂务·工艺·品质·工程

▍摘要/ABSTRACT

在线清洗常被理解成配药、循环、冲水三个动作，实际决定结果的却是回路是否完整、死区是否纳入、终点如何判定。清洗液进不到的管段，浓度再高也没有意义；进入了却冲不出来的残留，会在恢复供水后缓慢释放，表现为金属或总有机碳的延迟超标。本文从在线清洗与离线清洗的边界讲起，讨论回路划定与死区处置、清洗剂与温度时间的选择、预冲洗到终洗的顺序、验收指标与最不利点取样、材质兼容与腐蚀征兆、废液与人员安全，以及记录、变更与偏差闭环。文中参数均为工程示例，须由污染物性质、材质与基线测试确定。清洗方案写得再细，若回路图与实际阀门状态不符，也只是把错误执行得更整齐。把回路、死区与终点判据三件事做对，清洗才有可重复性。

关键词在线清洗/回路划定/死区/清洗验证/材质兼容

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