IEC 62435-7：2020 电子元件.电子半导体器件的长期储存.第7部分微机电装置标准立项发展报告.docx

电子元件电子半导体器件的长期储存第7部分：微机电装置标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:ElectronicComponents–Long-TermStorageofElectronicSemiconductorDevices–Part7:Micro-ElectromechanicalDevices

摘要

随着微机电系统（MEMS）技术在消费电子、汽车电子、航空航天及医疗器械等领域的广泛应用，微机电装置在长期储存过程中的性能退化与可靠性问题日益受到行业关注。IEC62435-7:2020《电子元件电子半导