CN119077157A 一种碳化硅晶锭激光切割分片的方法及系统 （海目星激光科技集团股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119077157A

(43)申请公布日2024.12.06

(21)申请号202411417256.2

(22)申请日2024.10.11

(71)申请人海目星激光科技集团股份有限公司

地址518000广东省深圳市龙华区观湖街

道鹭湖社区观盛五路科姆龙科技园B

栋301

(72)发明人邓波裴冠森孙玉芬周宇超

(74)专利代理机构深圳市精英专利事务所

44242

专利代理师李莹

(51)Int.Cl.

B23K26/38(2014.01)

B23K26/402(2014.01)

B23K26/70(2014.01)