CN119216284A 基于PLC编程的半导体湿法清洗工艺优化方法 （盐城工学院）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119216284A

(43)申请公布日2024.12.31

(21)申请号202411423410.7

(22)申请日2024.10.12

(71)申请人盐城工学院

地址224001江苏省盐城市亭湖区希望大

道中路1号

(72)发明人刘连玺周临震

(74)专利代理机构南通市集优专利代理事务所

(普通合伙)32651

专利代理师李海霞

(51)Int.Cl.

B08B3/02(2006.01)

H01L21/02(2006.01)

B08B3/10(2006.01)

B08B13/00(2006.01)

G05B19/05(20