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光模块制造厂房设计规范.docx

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    光模块制造厂房设计规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 3

    二、术语 6

    三、厂址选择与总图设计 8

    四、工艺设计 13

    五、生产流程与设备布置 16

    六、洁净厂房环境要求 19

    七、建筑设计 23

    八、结构设计 27

    九、围护结构与室内装修 30

    十、净化空调系统 33

    十一、通风与排烟系统 36

    十二、给水与排水系统 39

    十三、工艺气体与真空系统 41

    十四、电气系统 43

    十五、照明与应急照明 46

    十六、弱电与智能化系统 49

    十七、消防设计 54

    十八、防静电与接地 58

    十九、

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