《基于热电阻的真空度测量装置设计》8800字.docx

基于热电阻的真空度测量装置设计

摘要

真空技术在现代生产生活中应用广泛，从集成电路制造到能源装载运输及贮存都离不开严格的真空环境REF_Ref101440237\r\h[1]。真空度是否达标就至关重要，真空度的检测技术尤为关键，因此精密化、智能化的热电阻真空测量装置是未来的发展方向，一体化微型真空测量装置的研究有其重要意义。

本课题设计了一款基于热电阻的真空度测量装置，是以STC12C5A60S2单片机为主控制器，预先将温度与真空度对应值写入单片机中，因不同真空环境热量的散发是不同的，故采用模拟加热空气来模拟真空下的温度变化，经过由PT100铂式热电阻所构成的传感器测量电