CN119285603A 一种光致酸产生剂1-(4-烷氧基萘基)-1H-环锍鎓全氟丁基磺酸盐的制备方法 （成都东凯芯半导体材料有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119285603A

(43)申请公布日2025.01.10

(21)申请号202411410960.5G03F7/004(2006.01)

(22)申请日2024.10.10

(71)申请人成都东凯芯半导体材料有限公司

地址610000四川省成都市高新区天目路

143号1层

申请人四川东材科技集团股份有限公司

(72)发明人田原费贤柯常胜裴娜柯鑫

李卫周友

(74)专利代理机构成都时誉知识产权代理事务

所(普通合伙)51250

专利代理师汪林

(51)Int.Cl.

C07D333/46(2006.